電子探針(EPMA)是用極細的電子束對樣品表面進行照射產生特征性X射線，對特征性X射線進行分光和強度測定，得到微小區域的元素組成及樣品表面元素濃度分布的分析裝置。EPMA 采用波長色散型X 射線分光器（WDS），與能量色散型X 射線分光器（EDS）相比，具有高分辨率的特點。本實驗室裝備有日本島津公司生產的EPMA-1720電子探針顯微分析儀，配備4道波譜儀，同時配備AZtec X-Max 80牛津能譜儀，可對試樣進行微小區域成分分析，可對5B～92U范圍的元素進行定性和定量分析。

分光晶體：2 個/ 道（自動晶體交換）

分光器數：4道

分析元素：4Be～92U

能量分辨率：>127eV(MnKα處)

加速電壓： 0.1～30 kV（0.1kV步進。5kV 以下可以10V 步進設定）

二次電子像分辨率：W燈絲：6 nm（加速電壓30 kV）

放大倍率：40倍～400,000倍（WD = 6.35mm分析高度）

最大分析區域：90mm × 90mm

主要功能和應用：

形貌分析：材料微區內的二次電子、背散射電子、特征X射線、吸收電子成像等形貌信息。

定性分析：材料微區內化學成分定性分析 (全元素分析)、線掃描分析(得到層成分分布信息)、面掃描分析(得到成分面分布圖像)。

定量分析：材料微區內全元素有標定量分析。

狀態分析：材料微區內元素所處的化學狀態分析。

定性分析、線掃描分析、面掃描分析、定量分析、元素狀態分析

樣品直徑不要超過30mm，樣品高度不要超過20mm，樣品表面要盡量平整（拋光），樣品要導電。