| 儀器名稱 | 掃描電子顯微鏡（Merlin Compact） |
| 規格型號 | Merlin Compact |
| 生產廠家 | 德國蔡司 |
| 儀器簡介 | |
| 性能指標 | 分辨率： High Vaccum mode 1.0nm @ 15kV WD=2mm 放大倍數 ：12x ～ 2,000,000x 電子槍： 熱場發射 樣品電流：5pA ～ 20nA 加速電壓： 0.05kV ～ 30kV |
| 測試項目 | 二次電子像：高分辨率的樣品表面形貌成像背散射電子像：表面形貌成像原子序數襯度成像能譜分析：材料微區成分元素種類與含量分析電子背散射衍射：電子通道花樣晶體取向、位向差分析、織構分析、相鑒定 |
| 樣品要求 | 樣品必須為固體樣品，禁止帶揮發性物質的樣品進入電鏡樣品室；粉體樣品須固定在導電膠上，并用希爾球吹干凈，才可進入電鏡樣品室；鑲樣樣品必須在干燥箱中干燥，或預抽真空后，才可進入電鏡樣品室。 |
| 設備負責人 | 設備負責人：何綏霞 聯系電話： Email：hesuixia@sinap.ac.cn |
