| 儀器名稱 | 掃描質子微探針（SPM） |
| 規格型號 | 研制 |
| 生產廠家 | 澳大利亞墨爾本大學 |
| 儀器簡介 | 利用SPM系統，可綜合采用PIXE、PIGE、ERD、RBS等離子束分析方法，實現多種元素成份分析；可測定微區元素分布。可以用于材料、生物醫學、環境、地質樣品的多種微量化學元素成份和微區結構的無損分析 |
| 性能指標 | （1）質子微束空間分辨率1微米 （2）化學元素分析檢出限1ppm （3）真空度優于1*10-4 Pa （4）探測系統包括真空靶室、前置放大和Si(Li)探測器，電子學系統包括高壓、主放、堆積排除、ADC轉換等，微機多道能譜儀。 |
| 測試項目 | 1、PIXE分析2、RBS分析3、ERD分析4、二維元素分布成像5、（特殊）微束實驗 |
| 樣品要求 | 不影響系統真空的無腐蝕性、無爆炸性、無劇毒性的粉體或塊體 |
| 設備負責人 | 設備負責人：雷前濤 聯系電話： Email：leiqiantao@sinap.ac.cn |
