| 儀器名稱 | 納米壓痕儀 |
| 規格型號 | Nano Indenter G200 |
| 生產廠家 | 美國安捷倫 |
| 儀器簡介 | Nano Indenter G200 是用于納米力學測試的最精確、最靈活、最容易使用的儀器。電磁驅動器具有極佳的力和位移動態范圍，可測量 6 個數量級（從納米到毫米）的變形。其應用包括半導體、薄膜和 MEM（晶圓應用）；硬質涂層和 DLC 膜；復合材料、纖維和聚合物；金屬和陶瓷；以及生物材料和生物學。 |
| 性能指標 | 位移能力 壓頭總的位移范圍： ≥1.5mm 最大壓痕深度：3200mm 位移分辨率： ￡0.02nm 載荷能力 載荷分辨率：￡50nN 高載荷選件： 10N /50nN DCM壓痕選件： 10mN/1nN 樣品臺 定位精度： 1um 定位控制模式：全自動遙控 光學顯微鏡 鏡鏡頭： 10X 和40X 加載方式 恒載荷速率、恒位移速率、恒應變速率以及階梯加載。 |
| 測試項目 | 測試材料微納米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量 |
| 樣品要求 | 上下表面平行并經拋光，直徑不超過30mm，高度不超過35mm，提供泊松比。 |
| 設備負責人 | 設備負責人：葉林鳳 聯系電話： Email：yelinfeng@sinap.ac.cn |
